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Entwicklung und Status des Arbeitsschwerpunktes Mikrotechnik

Hohenhinnebusch, W.; Mikosch, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031025
HGF-Programm 16.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 59-64
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