Stand und Entwicklungsziele des LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120031027 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | KfK-Nachrichten |
| Band | 23 |
| Seiten | 69-75 |