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Stand und Entwicklungsziele des LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen

Bley, P.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031027
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 69-75
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