Herstellung von Roentgenmasken fuer das LIGA-Verfahren

Bacher, W.; Bley, P.; Hein, H.; Klein, U.; Mohr, J.; Schomburg, W. K.; Schwarz, R.; Stark, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1991
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 120031028
HGF-Programm	16.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	KfK-Nachrichten
Band	23
Seiten	76-83