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LIGA-Abformtechnik zur Fertigung von Mikrostrukturen

Bacher, W.; Feit, K.; Harmening, M.; Michel, A.; Mohr, J.; Stark, W.; Stoelting, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031029
HGF-Programm 16.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 84-92
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