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Anwendung des LIGA-Verfahrens zur Herstellung von geometrisch und integriert optischen Komponenten

Mohr, J.; Goettert, J.; Mueller, C.; Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031030
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 93-99
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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