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Herstellung von beweglichen Mikrostrukturen mit dem LIGA-Verfahren

Mohr, J.; Bley, P.; Burbaum, C.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031032
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 110-17
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