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Herstellung von Infrarotfiltern fuer das Weltraumobservatorium ISO mit Hilfe des LIGA-Verfahrens

Ruprecht, R.; Bacher, W.; Bley, P.; Harmening, M.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120031033
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 48
Erscheinungsvermerk 23(1991) S.118-23 Jahrbuch Oberflaechentechnik, S.394-402
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