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Clusterstrahlen als Werkzeug zur Modifikation mikrotechnischer Oberflaechen

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031034
HGF-Programm 16.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 124-32
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