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Strukturieren und Polieren von Festkoerperflaechen mit Clusterionen

Henkes, P.R.W.; Klingelhoefer, R.; Krevet, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031035
HGF-Programm 16.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 133-35
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