Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120031036 |
HGF-Programm | 16.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | KfK-Nachrichten |
Band | 23 |
Seiten | 136-42 |