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Silber-Clusterstrahlen zur Erzeugung duenner Schichten

Hagena, O.F.; Knop, G.; Ries, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031036
HGF-Programm 16.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 136-42
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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