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Mechanische Mikrotechnik

Bier, W.; Linder, G.; Seidel, D.; Schubert, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120031040
HGF-Programm 16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 23
Seiten 165-73
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