Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120031043 |
HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
Band | 63 |
Seiten | 2374-79 |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 4th Internat.Symp.on Ion Sources, Darmstadt-Bensheim, September 30 - October 4, 1991 |