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ARXPS - studies of nucleation and make-up of sputtered TiN-layers

Halbritter, J.; Leiste, H.; Mathes, H. J.; Walk, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120031357
HGF-Programm 13.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Fresenius' Journal of Analytical Chemistry
Band 341
Seiten 320-24
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