ARXPS - studies of nucleation and make-up of sputtered TiN-layers
Halbritter, J.; Leiste, H.; Mathes, H. J.
; Walk, P.
; Walk, P.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120031357 |
| HGF-Programm | 13.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Fresenius' Journal of Analytical Chemistry |
| Band | 341 |
| Seiten | 320-24 |