Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120031536 |
HGF-Programm | 16 (Vor POF, LK 01) |
Band | 4 |
Heft | 3 |
Erscheinungsvermerk | ISTEC-Journal |