| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120031536 |
| HGF-Programm | 16 (Vor POF, LK 01) |
| Band | 4 |
| Heft | 3 |
| Erscheinungsvermerk | ISTEC-Journal |