| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120031730 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
| Band | 61 |
| Seiten | 565-68 |
| Erscheinungsvermerk | 11th Internat.Conf.on the Application of Accelerators in Research and Industry, Denton, Tex., November 5-8, 1990 |