Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120032208 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 2 |
Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] ACTUATOR '92 : 3rd Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 24-26, 1992 Conf.Proc. S.19-23 VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, 1992,(1992) S.234-41 |