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X-ray masks with Tungsten absorbers for the LIGA-process

Kadel, K.; Schomburg, W.K.; Stern, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120032270
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 21
Seiten 123-26
Erscheinungsvermerk 92, Erlangen, September 21-24, 1992
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