X-ray masks with Tungsten absorbers for the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120032270 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 21 |
| Seiten | 123-26 |
| Erscheinungsvermerk | 92, Erlangen, September 21-24, 1992 |