Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120032493 |
HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Feinwerktechnik und Messtechnik |
Band | 99 |
Seiten | 535-37 |
Erscheinungsvermerk | (1991) |