KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Elektronenstrahllithographie zur Herstellung von Roentgenmasken fuer das LIGA-Verfahren

Hein, H.; Bley, P.; Goettert, J.; Klein, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120032956
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Feinwerktechnik und Messtechnik
Band 100
Seiten 387-90
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page