Elektronenstrahllithographie zur Herstellung von Roentgenmasken fuer das LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120032956 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Feinwerktechnik und Messtechnik |
| Band | 100 |
| Seiten | 387-90 |