Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120033444 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Sensors and Actuators A |
Band | 41-42 |
Seiten | 426-29 |
Erscheinungsvermerk | EUROSENSORS VII, Budapest, H, September 26-29, 1993 |