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Bistable fluidic elements in LIGA-technique for flow control in fluidic microatuators

Vollmer, J.; Hein, H.; Menz, W.; Walter, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120033454
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Digest of Technical Papers
Band 43
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Conf.on Solid State Sensors and Actuators, Transducers '93, Yokohama, J, June 7-10, 1993 S.116-19 Yokohama : Inst.of Electrical Engineers of Japan, 1993 Sensors and Actuators A, S.330-34
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