Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120033850 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Band | 23 |
Seiten | 223-26 |
Erscheinungsvermerk | Maastricht, NL, September 27-29, 1993 (Poster) |