ARXPS-analysis of sputtered TiC, SiC and Ti₀̣₅Si₀̣₅C layers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120033944 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Fresenius' Zeitschrift für Analytische Chemie |
| Band | 346 |
| Seiten | 227-32 |