Microsystems. The new technological revolution
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120034863 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Interdisciplinary Science Reviews |
| Band | 18 |
| Seiten | 253-58 |