The Liga process for fabrication of three-dimensional microscale structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120034865 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Interdisciplinary Science Reviews |
| Band | 18 |
| Seiten | 267-72 |