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Properties of RF sputtered B₄C thin films

Chiang, C.I.; Holleck, H.; Meyer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120034871
HGF-Programm 34.01.02; LK 01
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods B
Band 91
Seiten 692-95
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Conf.on Radiation Effects in Insulators, Nagoya, J, September 6-10, 1993
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