Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035104 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Spektrum der Wissenschaft |
| Band | 2 |
| Seiten | 92-99 |