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Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik. Aufbau und Eigenschaften

Mohr, J.; Strohrmann, M.; Fromhein, O.; Lindemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120035105
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erschienen in Spektrum der Wissenschaft
Band 2
Seiten 99-106
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