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Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik. Aufbau und Eigenschaften

Mohr, J.; Strohrmann, M.; Fromhein, O.; Lindemann, K.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120035105
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Spektrum der Wissenschaft
Band 2
Seiten 99-106
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