Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik. Aufbau und Eigenschaften
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035105 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Spektrum der Wissenschaft |
| Band | 2 |
| Seiten | 99-106 |