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Ultrasonic measurements with micromembranes

Börner, M.W.; Zur Horst-Meyer, S.; Murphy, M.C.; Münch, H.J.; Schomburg, W.K.; Vitt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120035118
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 46-47
Seiten 62-65
Erscheinungsvermerk Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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