Ultrasonic measurements with micromembranes

Börner, M. W.; Zur Horst-Meyer, S.; Murphy, M. C.; Münch, H. J.; Schomburg, W. K.; Vitt, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120035118
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Sensors and Actuators A
Band	46-47
Seiten	62-65
Erscheinungsvermerk	Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994