KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Das LIGA-Verfahren zur Fertigung dreidimensionaler Mikrostrukturen

Bacher, W.; Mohr, J.; Ruprecht, R.; Schomburg, W.K.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120035124
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in GIT Fachzeitschrift für das Laboratorium
Band 37
Seiten 1081-85
Erscheinungsvermerk (1993)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page