Das LIGA-Verfahren zur Fertigung dreidimensionaler Mikrostrukturen

Bacher, W.; Mohr, J.; Ruprecht, R.; Schomburg, W. K.; Stark, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 120035124
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	GIT Fachzeitschrift für das Laboratorium
Band	37
Seiten	1081-85
Erscheinungsvermerk	(1993)