Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120035125 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Maschinenmarkt |
Band | 99 |
Seiten | 40-43 |
Erscheinungsvermerk | (1993) |