Application of three-dimensional micro-optical components formed by lithography, electroforming, and plastic molding

Brenner, K. H.; Kufner, M.; Kufner, S.; Moisel, J.; Müller, A.; Sinzinger, S.; Testorf, M.; Göttert, J.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120035127
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Applied Optics
Band	32
Seiten	6464-69
Erscheinungsvermerk	(1993)