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Application of three-dimensional micro-optical components formed by lithography, electroforming, and plastic molding

Brenner, K.H.; Kufner, M.; Kufner, S.; Moisel, J.; Müller, A.; Sinzinger, S.; Testorf, M.; Göttert, J.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120035127
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Applied Optics
Band 32
Seiten 6464-69
Erscheinungsvermerk (1993)
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