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Magnesium cluster-beam deposition on glass and Si(111)

Hagena, O.F.; Knop, G.; Fromknecht, R.; Linker, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120035507
HGF-Programm 52.01.12; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 12
Seiten 282-88
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