| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035623 |
| HGF-Programm | 34.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Electronic Materials |
| Band | 22 |
| Seiten | 1227-31 |
| Erscheinungsvermerk | (1993) |