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Design rules and test of electrostatic micromotors made by the LIGA-process

Wallrabe, U.; Bley, P.; Krevet, B.; Menz, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120035724
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 4
Seiten 40-45
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