Design rules and test of electrostatic micromotors made by the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035724 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 4 |
| Seiten | 40-45 |