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Prozeßschritte im LIGA-Verfahren. Elektrochemische Untersuchungen und Videodokumentation

Karstens, O.; Schultze, J.W.; Bacher, W.; Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120035805
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in mo Metalloberflaeche
Band 48
Seiten 148-56
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