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Prozeßschritte im LIGA-Verfahren. Elektrochemische Untersuchungen und Videodokumentation

Karstens, O.; Schultze, J.W.; Bacher, W.; Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120035805
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in mo Metalloberflaeche
Band 48
Seiten 148-56
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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