Prozeßschritte im LIGA-Verfahren. Elektrochemische Untersuchungen und Videodokumentation

Karstens, O.; Schultze, J. W.; Bacher, W.; Ruprecht, R.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 120035805
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	mo Metalloberflaeche
Band	48
Seiten	148-56

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seit 05.12.2018