Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120035806 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 4 |
Seiten | 14-22 |