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Friction measurements on LIGA-processed microstructures

Beerschwinger, U.; Yang, S.J.; Reuben, R.L.; Taghizadeh, M.R.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120035806
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 4
Seiten 14-22
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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