Friction measurements on LIGA-processed microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035806 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 4 |
| Seiten | 14-22 |