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New microelectrodes for the investigation of the electroforming of LIGA microstructures

Leyendecker, K.; Bacher, W.; Stark, W.; Thommes, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120035838
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in Electrochimica Acta
Band 39
Seiten 1139-43
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