Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120035890 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | KfK-Nachrichten |
Band | 26 |
Seiten | 3-9 |