Mikromembranen für berührungslose Messungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035892 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | KfK-Nachrichten |
| Band | 26 |
| Seiten | 15-18 |