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Mikromembranen für berührungslose Messungen

Schomburg, W.K.; Börner, M.W.; Stern, G.; Vitt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120035892
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 26
Seiten 15-18
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