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Dünne Schichten für Aktoren in der Mikrosystemtechnik

Holleck, H.; Kirchner, S.; Kunisch, C.; Quandt, E.; Schlegelmilch, J.; Seemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120035893
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 26
Seiten 19-27
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