Dünne Schichten für Aktoren in der Mikrosystemtechnik
Holleck, H.; Kirchner, S.; Kunisch, C.; Quandt, E.; Schlegelmilch, J.; Seemann, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035893 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | KfK-Nachrichten |
| Band | 26 |
| Seiten | 19-27 |