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Industrienahe Mikrosystem-Produktionstechniken. Herstellung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120035935
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Technische Rundschau
Band 86
Seiten 14-19
Erscheinungsvermerk Juli
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