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Industrienahe Mikrosystem-Produktionstechniken. Herstellung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120035935
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Technische Rundschau
Band 86
Seiten 14-19
Erscheinungsvermerk Juli
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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