Industrienahe Mikrosystem-Produktionstechniken. Herstellung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120035935 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Technische Rundschau |
| Band | 86 |
| Seiten | 14-19 |
| Erscheinungsvermerk | Juli |