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High-precision readout circuit for LIGA acceleration sensors

Krömer, O.; Fromhein, O.; Gemmeke, H.; Kühner, T.; Mohr, J.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120036290
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 46-47
Seiten 196-200
Erscheinungsvermerk Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994
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