High-precision readout circuit for LIGA acceleration sensors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120036290 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Band | 46-47 |
| Seiten | 196-200 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994 |