High-precision readout circuit for LIGA acceleration sensors

Krömer, O.; Fromhein, O.; Gemmeke, H.; Kühner, T.; Mohr, J.; Strohrmann, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120036290
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Sensors and Actuators A
Band	46-47
Seiten	196-200
Erscheinungsvermerk	Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994