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ARXPS studies of SiO₂-SiC interfaces and oxidation of 6H SiC single crystal Si-(001) and C-(001) surfaces

Hornetz, B.; Michel, H.J.; Halbritter, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120036398
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Materials Research
Band 9
Erscheinungsvermerk 8. Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA8), Kaiserslautern, 5.-8.September 1994 Beitragskurzfassungen S.192,(1994) S.3088-94
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