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Design of piezoelectric thin films in the system AIN-ZnO

Kunisch, C.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120036527
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 74-75
Seiten 1028-32
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 19-23, 1994
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