Design of piezoelectric thin films in the system AIN-ZnO
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120036527 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Surface and Coatings Technology |
| Band | 74-75 |
| Seiten | 1028-32 |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 19-23, 1994 |