Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120036607 |
HGF-Programm | 52.01.23 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Band | 13 |
Seiten | 1413-15 |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 41st Nat.Symp.of the American Vacuum Society and 3rd Internat.Conf. on Nanometer-Scale Science and Technology, Denver, Colo., October 24-28, 1994 |