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Auger electron spectroscopy rotational depth profiling of Ni/Cr multilayers using O₂⁺ and Ar⁺ ions

Zalar, A.; Seibt, E.W.; Panjan, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120036687
HGF-Programm 34.01.02; LK 01
Erschienen in Thin Solid Films
Band 246
Seiten 35-41
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