Mikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren als Basis für Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120036785 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Schweizer Maschinenmarkt |
| Heft | 48 |
| Seiten | 74-77 |
| Erscheinungsvermerk | ITG-Informationstagung Neue Anwendungen und Erfahrungen in der Mikrosystemtechnik, Zürich, CH, 21.September 1994, (1994) |