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Mikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren als Basis für Mikrosysteme

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120036785
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Schweizer Maschinenmarkt
Heft 48
Seiten 74-77
Erscheinungsvermerk ITG-Informationstagung Neue Anwendungen und Erfahrungen in der Mikrosystemtechnik, Zürich, CH, 21.September 1994, (1994)
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