Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120036785 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Schweizer Maschinenmarkt |
Heft | 48 |
Seiten | 74-77 |
Erscheinungsvermerk | ITG-Informationstagung Neue Anwendungen und Erfahrungen in der Mikrosystemtechnik, Zürich, CH, 21.September 1994, (1994) |