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The LIGA process - a microfabrication technology

Bley, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120036787
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in FED
Band 5
Heft 1
Seiten 20-35
Erscheinungsvermerk in japanischer Sprache
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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