The LIGA process - a microfabrication technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120036787 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | FED |
| Band | 5 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 20-35 |
| Erscheinungsvermerk | in japanischer Sprache |