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The LIGA process - a microfabrication technology

Bley, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120036787
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erschienen in FED
Band 5
Heft 1
Seiten 20-35
Erscheinungsvermerk in japanischer Sprache
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