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Tecnologia LIGA per il controllo dei fluidi

Vollmer, J.; Hein, H.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120036973
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Oleodinamica Pneumatica
Heft 3
Seiten 204-10
Erscheinungsvermerk (1994)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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